碳化硅-碳化钽复合材料和基座
摘要:
本发明提供一种耐久性优异的碳化硅-碳化钽复合材料。碳化硅-碳化钽复合材料(1)具备:表层的至少一部分由第一碳化硅层(12)构成的主体(10)、碳化钽层(20)和第二碳化硅层(13)。碳化钽层(20)配置于第一碳化硅层(12)之上。第二碳化硅层(13)配置于碳化钽层(20)和第一碳化硅层(12)之间。第二碳化硅层(13)通过X射线光电子分光法测得的C/Si组成比为1.2以上。第二碳化硅层(13)通过拉曼分光法测得的碳的G带和D带的峰强度比G/D为1.0以上。
公开/授权文献
0/0