发明公开
- 专利标题: 碳化硅-碳化钽复合材料和基座
- 专利标题(英): Silicon carbide-tantalum carbide composite and susceptor
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申请号: CN201480007718.1申请日: 2014-01-28
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公开(公告)号: CN104968634A公开(公告)日: 2015-10-07
- 发明人: 篠原正人
- 申请人: 东洋炭素株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 东洋炭素株式会社
- 当前专利权人: 东洋炭素株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳; 程采
- 优先权: 2013-021166 2013.02.06 JP; 2013-021167 2013.02.06 JP; 2013-021168 2013.02.06 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/051821 2014.01.28
- 国际公布: WO2014/123036 JA 2014.08.14
- 进入国家日期: 2015-08-06
- 主分类号: C04B41/89
- IPC分类号: C04B41/89 ; C04B41/87 ; C23C16/458 ; C30B25/12 ; C30B29/36 ; H01L21/683
摘要:
本发明提供一种耐久性优异的碳化硅-碳化钽复合材料。碳化硅-碳化钽复合材料(1)具备:表层的至少一部分由第一碳化硅层(12)构成的主体(10)、碳化钽层(20)和第二碳化硅层(13)。碳化钽层(20)配置于第一碳化硅层(12)之上。第二碳化硅层(13)配置于碳化钽层(20)和第一碳化硅层(12)之间。第二碳化硅层(13)通过X射线光电子分光法测得的C/Si组成比为1.2以上。第二碳化硅层(13)通过拉曼分光法测得的碳的G带和D带的峰强度比G/D为1.0以上。
公开/授权文献
- CN104968634B 碳化硅-碳化钽复合材料和基座 公开/授权日:2018-04-10