- 专利标题: 碳纳米管三维鳍状场效应晶体管及其制备方法
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申请号: CN201510246215.6申请日: 2015-05-14
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公开(公告)号: CN104979402B公开(公告)日: 2018-05-29
- 发明人: 邱晨光 , 张盼盼 , 张志勇 , 彭练矛
- 申请人: 北京大学
- 申请人地址: 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
- 专利权人: 北京大学
- 当前专利权人: 北京大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
- 代理机构: 北京君尚知识产权代理事务所
- 代理商 陈美章
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L21/336 ; H01L29/06
摘要:
本发明提供了一种碳纳米管三维鳍状场效应晶体管及其制备方法,该方法将碳纳米管平行阵列材料自组装在三维鳍状绝缘衬底表面,有效增加了单位器件宽度上碳纳米管的数目,从而显著增大了碳纳米管晶体管器件的驱动电流。与常规平面碳纳米管器件相比,碳纳米管三维鳍状场效应晶体管在驱动能力,性能均一性,以及集成度方面有显著优势。
公开/授权文献
- CN104979402A 碳纳米管三维鳍状场效应晶体管及其制备方法 公开/授权日:2015-10-14
IPC分类: