发明公开
CN104992973A 一种围栅异质结器件
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种围栅异质结器件
- 专利标题(英): Gate heterojunction device
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申请号: CN201510263199.1申请日: 2015-05-21
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公开(公告)号: CN104992973A公开(公告)日: 2015-10-21
- 发明人: 汪志刚 , 陈协助 , 孙江
- 申请人: 西南交通大学
- 申请人地址: 四川省成都市二环路北一段111号
- 专利权人: 西南交通大学
- 当前专利权人: 西南交通大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市二环路北一段111号
- 代理机构: 成都点睛专利代理事务所
- 代理商 葛启函
- 主分类号: H01L29/778
- IPC分类号: H01L29/778 ; H01L29/423
摘要:
本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种围栅异质结器件。本发明的围栅异质结器件,主要采用第二类半导体与第三类半导体形成异质结,并在欧姆接触S端设置绝缘层,在源漏之间设置有围栅栅极,通过在围栅栅极结构控制栅极沟道的关断及导通;在器件未加电压时,可通过控制围栅栅极里第三类半导体的厚度和掺杂的正负离子浓度使得器件是常关器件,通过栅漏之间和源漏之间的生长长度实现器件的正反向耐压。本发明的有益效果为围栅异质结器件是常关器件,能在异质结型HEMTs中集成、版图和工艺兼容性好,在高温高场环境下性能稳定,还具有电路耐压值可控的优点。