发明授权
- 专利标题： 高纯度1H-七氟环戊烯
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申请号： CN201480009975.9申请日： 2014-02-19
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公开(公告)号： CN104995158B公开(公告)日： 2018-11-02
- 发明人: 杉本达也
- 申请人： 日本瑞翁株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 日本瑞翁株式会社
- 当前专利权人： 日本瑞翁株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京柏杉松知识产权代理事务所
- 代理商 袁波; 刘继富
- 优先权： 2013-031599 2013.02.21 JP
- 国际申请： PCT/JP2014/053863 2014.02.19
- 国际公布： WO2014/129488 JA 2014.08.28
- 进入国家日期： 2015-08-21
- 主分类号： C07C23/08
- IPC分类号： C07C23/08 ; C07C17/354 ; C07C17/383 ; H01L21/3065 ; C07B61/00
摘要：
本发明是一种1H‑七氟环戊烯，其特征在于，纯度为99.9重量%以上，且有机氯类化合物的含量为350重量ppm以下。根据本发明，可以提供作为面向半导体的等离子体反应用气体适宜的高纯度1H‑七氟环戊烯。
公开/授权文献
- CN104995158A 高纯度1H-七氟环戊烯 公开/授权日：2015-10-21
