• Patent Title: 一种具有双位移放大的大行程快速响应X‑Y微动工作台
  • Application No.: CN201410165010.0
    Application Date: 2014-04-23
  • Publication No.: CN105006254B
    Publication Date: 2017-05-03
  • Inventor: 郝丽娜曹瑞珉
  • Applicant: 东北大学
  • Applicant Address: 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
  • Assignee: 东北大学
  • Current Assignee: 东北大学
  • Current Assignee Address: 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
  • Main IPC: G12B5/00
  • IPC: G12B5/00
一种具有双位移放大的大行程快速响应X‑Y微动工作台
Abstract:
本发明涉及一种具有双位移放大的大行程快速响应X‑Y微动工作台,包括:底座、运动平台、顶盖、调平螺钉、压电陶瓷、载物台、电容位移传感器等。其中底座、运动平台和顶盖用螺钉固定,压电陶瓷安装在位移放大机构中,用锁紧螺钉固定,电容位移传感器安装在载物台与倒圆角直梁型柔性铰链之间。本发明采用一种应用于微纳米结构的改进型平行四边形位移放大机构,关节部分采用圆形柔性铰链,其刚度决定了位移放大机构的带负载能力以及快速响应性;采用双位移放大机构并联的方式,使得输出力和输出位移加倍,且减小载物台位移耦合;采用对称结构,使系统具有较高带宽和重复精度;采用倒圆角直梁型和平行板柔性铰链的组合结构,位移单向性好。
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