- 专利标题: 一种对比式抗干扰阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法
- 专利标题(英): Contrast type anti-interference stepped plane reflector laser interferometer, calibration method and measurement method
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申请号: CN201510287712.0申请日: 2015-05-29
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公开(公告)号: CN105043242A公开(公告)日: 2015-11-11
- 发明人: 韦海成 , 张白
- 申请人: 北方民族大学
- 申请人地址: 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北街204号
- 专利权人: 北方民族大学
- 当前专利权人: 日照市昱岚新材料有限公司
- 当前专利权人地址: 276800 山东省日照市岚山虎山镇222省道001号
- 代理机构: 四川力久律师事务所
- 代理商 林辉轮
- 主分类号: G01B9/02
- IPC分类号: G01B9/02
摘要:
本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述对比式抗干扰阶梯平面反射镜激光干涉仪,包括有激光源、阶梯平面反射镜、干涉测量光电探测器组、移动平面反射镜和分光镜组,所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束,其中z为大于或者等于2的正整数,还包括有反射测量光电探测器组,所述第二激光束组在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组,所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。
公开/授权文献
- CN105043242B 一种对比式抗干扰阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法 公开/授权日:2017-12-08