发明公开
- 专利标题: 波导谐振器构件及其制造方法
- 专利标题(英): Waveguide resonator component and method for the production thereof
-
申请号: CN201480015934.0申请日: 2014-03-13
-
公开(公告)号: CN105051580A公开(公告)日: 2015-11-11
- 发明人: 斯特凡·伯特纳 , 奥利弗·G·施密特
- 申请人: 德累斯顿协会莱布尼茨固体材料研究所
- 申请人地址: 德国德累斯顿
- 专利权人: 德累斯顿协会莱布尼茨固体材料研究所
- 当前专利权人: 德累斯顿协会莱布尼茨固体材料研究所
- 当前专利权人地址: 德国德累斯顿
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 杨靖; 车文
- 优先权: 102013204606.5 2013.03.15 DE
- 国际申请: PCT/EP2014/055006 2014.03.13
- 国际公布: WO2014/140206 DE 2014.09.18
- 进入国家日期: 2015-09-15
- 主分类号: G02B6/10
- IPC分类号: G02B6/10 ; G02B6/12 ; G02B6/13
摘要:
本发明与电子技术/电子器件的领域相关,并且涉及一种波导谐振器构件,其例如可以使用在集成电路中。本发明的任务在于简单且廉价地制造出波导谐振器构件。该任务通过如下波导谐振器构件来解决,在该波导谐振器构件中存在有具有两个波导(3)的基底(1)和作为谐振器的微管(2),其中,谐振器在波导的区域中分别具有留空部(4)以形成波导与谐振器之间的间隙。此外,该任务还通过如下方法来解决,在该方法中,在具有两个波导的基底上施加牺牲层,并且在牺牲层上施加至少一个第二层,在此之后,至少部分地去除牺牲层,并且通过卷起至少第二层制造出微管形式的谐振器。
公开/授权文献
- CN105051580B 波导谐振器构件及其制造方法 公开/授权日:2018-11-20