公开(公告)号：CN105051580B

公开(公告)日：2018-11-20

申请号：CN201480015934.0

申请日：2014-03-13

申请人： 德累斯顿协会莱布尼茨固体材料研究所

发明人： 斯特凡·伯特纳 ,  奥利弗·G·施密特

IPC分类号： G02B6/10 ,  G02B6/12 ,  G02B6/13

摘要： 本发明与电子技术/电子器件的领域相关，并且涉及一种波导谐振器构件，其例如可以使用在集成电路中。本发明的任务在于简单且廉价地制造出波导谐振器构件。该任务通过如下波导谐振器构件来解决，在该波导谐振器构件中存在有具有两个波导(3)的基底(1)和作为谐振器的微管(2)，其中，谐振器在波导的区域中分别具有留空部(4)以形成波导与谐振器之间的间隙。此外，该任务还通过如下方法来解决，在该方法中，在具有两个波导的基底上施加牺牲层，并且在牺牲层上施加至少一个第二层，在此之后，至少部分地去除牺牲层，并且通过卷起至少第二层制造出微管形式的谐振器。

公开(公告)号：CN105051580A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201480015934.0

申请日：2014-03-13

申请人： 德累斯顿协会莱布尼茨固体材料研究所

发明人： 斯特凡·伯特纳 ,  奥利弗·G·施密特

IPC分类号： G02B6/10 ,  G02B6/12 ,  G02B6/13

CPC分类号： G02B6/29338 ,  G02B6/00 ,  G02B6/122 ,  G02B6/136 ,  G02B6/29389 ,  G02B2006/12109

摘要： 本发明与电子技术/电子器件的领域相关，并且涉及一种波导谐振器构件，其例如可以使用在集成电路中。本发明的任务在于简单且廉价地制造出波导谐振器构件。该任务通过如下波导谐振器构件来解决，在该波导谐振器构件中存在有具有两个波导(3)的基底(1)和作为谐振器的微管(2)，其中，谐振器在波导的区域中分别具有留空部(4)以形成波导与谐振器之间的间隙。此外，该任务还通过如下方法来解决，在该方法中，在具有两个波导的基底上施加牺牲层，并且在牺牲层上施加至少一个第二层，在此之后，至少部分地去除牺牲层，并且通过卷起至少第二层制造出微管形式的谐振器。