- 专利标题: 一种基于碳基复合电极的高温SiC JFET器件
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申请号: CN201510490789.8申请日: 2015-08-05
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公开(公告)号: CN105070767B公开(公告)日: 2018-04-20
- 发明人: 张艺蒙 , 唐美艳 , 宋庆文 , 汤晓燕
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 主分类号: H01L29/808
- IPC分类号: H01L29/808 ; H01L29/43 ; H01L29/417
摘要:
本发明公开了一种基于碳基复合电极的高温SiC JFET器件,包括N+衬底、N‑漂移区、N沟道区、P+栅区、N+源区、由第一碳基材料层与第一金属层、第二金属层复合构成的源电极、由第三碳基材料层与第三金属层、第四金属层复合构成的漏电极、由第二碳基材料层与第五金属层、第六金属层复合构成的栅电极,N‑漂移区的厚度为9.5μm,宽度为7μm,掺杂浓度为6.5×1015cm‑3;N沟道区的深度为2.1μm,宽度为1.6μm,掺杂浓度为6.5×1015cm‑3;P+栅区掺杂浓度为1×1018cm‑3;N+衬底掺杂浓度为6×1018cm‑3;N+源区掺杂浓度为2×1018cm‑3。本发明一方面具有良好的热稳定性和导电特性,另一方面可以有效的改善散热,降低器件结温,使器件在高温下仍然可以稳定可靠的工作。
公开/授权文献
- CN105070767A 一种基于碳基复合电极的高温SiCJFET器件 公开/授权日:2015-11-18
IPC分类: