一种基于碳基复合电极的高温SiC JFET器件
摘要:
本发明公开了一种基于碳基复合电极的高温SiC JFET器件,包括N+衬底、N‑漂移区、N沟道区、P+栅区、N+源区、由第一碳基材料层与第一金属层、第二金属层复合构成的源电极、由第三碳基材料层与第三金属层、第四金属层复合构成的漏电极、由第二碳基材料层与第五金属层、第六金属层复合构成的栅电极,N‑漂移区的厚度为9.5μm,宽度为7μm,掺杂浓度为6.5×1015cm‑3;N沟道区的深度为2.1μm,宽度为1.6μm,掺杂浓度为6.5×1015cm‑3;P+栅区掺杂浓度为1×1018cm‑3;N+衬底掺杂浓度为6×1018cm‑3;N+源区掺杂浓度为2×1018cm‑3。本发明一方面具有良好的热稳定性和导电特性,另一方面可以有效的改善散热,降低器件结温,使器件在高温下仍然可以稳定可靠的工作。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/80 .....由PN结或其他整流结栅产生场效应的
H01L29/808 ......带有PN结栅的
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