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SPR传感器元件和SPR传感器
Abstract:
本发明提供具有非常优异的检测灵敏度的SPR传感器元件和SPR传感器。本发明的SPR传感器元件包括:下包层;芯层,其设置成使所述芯层的至少一部分与该下包层相邻;以及金属层,其覆盖该芯层,其中,该芯层具有折射率均匀层和折射率梯度层,该折射率梯度层配置在该折射率均匀层与该金属层之间,该折射率梯度层的折射率为该折射率均匀层的折射率以上,在该折射率梯度层的厚度方向上,该折射率梯度层的折射率自该折射率梯度层的靠该折射率均匀层侧的表面朝向该金属层侧连续地增大。
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