一种利用等离子体气固相法活化MoVNbTeOx纯相M1催化剂的方法，该方法首先通过水热合成法获得MoVNbTeOx混相M1和M2催化剂，将混相催化剂经过氧化氢纯化过程获得MoVNbTeOx体系M1纯相化合物，然后通过氧气等离子体处理，提升催化剂表面五价钒的含量，从而得到催化效果更为优异的M1纯相MoVNbTeOx催化剂。本发明在不改变钒元素总含量的情况下增加了五价钒的浓度，同时能够保持催化剂结构的稳定性。通过等离子体处理获得的催化剂能够显著提升其在乙烷氧化脱氢过程中的活性。该方法运用等离子体气固相法对催化剂进行修饰，减少了传统双氧水水相处理的质量损失。