Invention Publication
CN105088181A 一种硅基量子点激光器材料的MOCVD制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种硅基量子点激光器材料的MOCVD制备方法
- Patent Title (English): MOCVD preparation method for silicon-based quantum dot laser material
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Application No.: CN201410221660.2Application Date: 2014-05-23
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Publication No.: CN105088181APublication Date: 2015-11-25
- Inventor: 王俊 , 胡海洋 , 贺云瑞 , 邓灿 , 王琦 , 段晓峰 , 黄永清 , 任晓敏
- Applicant: 北京邮电大学
- Applicant Address: 北京市海淀区西土城路10号
- Assignee: 北京邮电大学
- Current Assignee: 北京邮电大学
- Current Assignee Address: 北京市海淀区西土城路10号
- Agency: 北京路浩知识产权代理有限公司
- Agent 李迪
- Main IPC: C23C16/30
- IPC: C23C16/30 ; C23C16/44 ; H01S5/343

Abstract:
本发明提供一种硅基量子点激光器材料的MOCVD制备方法,利用MOCVD方法依次进行如下步骤的材料制备,包括:在清洁的单晶硅衬底上制作GaAs低温成核层;在所述GaAs低温成核层上制作GaAs高温缓冲层;在所述GaAs高温缓冲层上制作应变超晶格结构;在所述应变超晶格结构上制作n型欧姆接触层;在所述n型欧姆接触层上制作n型限制层;在所述n型限制层上制作下波导层;在所述下波导层上制作多层量子点有源区;在所述多层量子点有源区上制作上波导层;在所述上波导层上制作p型限制层;在所述p型限制层上制作p型欧姆接触层。本发明能够大面积、均匀快速、高重复性地完成材料生长和制备,成本更加低廉,更适合产业化的需求。
Public/Granted literature
- CN105088181B 一种硅基量子点激光器材料的MOCVD制备方法 Public/Granted day:2017-11-28
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