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晶闸管随机存取内存
摘要:
本发明涉及晶闸管随机存取内存,其中,提出数种用以形成装置的装置及方法。该装置包括:有具第一极性类型之井区的衬底,以及基于晶闸管之记忆单元。该基于晶闸管之记忆单元包括:邻近该井区具第二极性类型之至少一第一区;设置于该衬底上用作为第二字线的栅极;具该第一极性类型之至少一第一层,其系设置成邻近具该第二极性类型之该第一区且邻近该栅极;以及具该第二极性类型之至少一重掺杂第一层,其系设置于具该第一极性类型之该第一层上且邻近该栅极。至少具该第二极性类型之该重掺杂第一层与该栅极的侧面自我对齐。
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