一种气体放电预电离装置
Abstract:
本发明公开了一种气体放电预电离装置,包括放电电极、预电离针、绝缘基板、密封圈、固定螺母、插拔结构和峰化电容。放电电极和预电离针垂直穿过绝缘基板,并通过密封圈和固定螺母紧固,确保激光气室良好的真空密封性能。预电离针沿电极长度方向均匀布放于放电阴极两侧,电极两侧面加工成尖棱状,与预电离针构成预电离间隙。预电离针与置于气室外部的峰化电容通过插拔结构相联,构成预电离充放电回路。当放电电极加载脉冲高压时预电离间隙快速击穿,形成弧光放电,辐射高强度紫外光,辐照主电极间隙中的激光气体介质,实现介质的紫外光自动预电离。由于预电离针与放电电极处于同一平面内,预电离结构不会对循环气体的流场结构造成影响任何影响,非常适合于重频气体放电激光器。
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