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公开(公告)号：CN110048695B
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN201910023076.9
申请日：2019-01-10
申请人： 住友重机械工业株式会社
IPC分类号： H03K3/57 , H03K3/011 , H01S3/0975
摘要： 本发明提供一种能够提高进行间歇动作的负载的动作频率的电源装置。电源装置(200)具备电容器组(202)及充电电源(210)。在电容器组(104)。充电电源(210)包含开关转换器(212)，并且对电容器组(202)进行充电。充电电源(210)以负载即高频电源(104)的动作开始作为触发而进行使开关转换器(212)的低侧晶体管(M1)导通一次的主充电。(202)连接有进行间歇动作的负载即高频电源
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公开(公告)号：CN105098580B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201510551462.7
申请日：2015-09-01
申请人： 西北核技术研究所
IPC分类号： H01S3/0975 , H01S3/038 , H01S3/03
摘要： 本发明公开了一种气体放电预电离装置，包括放电电极、预电离针、绝缘基板、密封圈、固定螺母、插拔结构和峰化电容。放电电极和预电离针垂直穿过绝缘基板，并通过密封圈和固定螺母紧固，确保激光气室良好的真空密封性能。预电离针沿电极长度方向均匀布放于放电阴极两侧，电极两侧面加工成尖棱状，与预电离针构成预电离间隙。预电离针与置于气室外部的峰化电容通过插拔结构相联，构成预电离充放电回路。当放电电极加载脉冲高压时预电离间隙快速击穿，形成弧光放电，辐射高强度紫外光，辐照主电极间隙中的激光气体介质，实现介质的紫外光自动预电离。由于预电离针与放电电极处于同一平面内，预电离结构不会对循环气体的流场结构造成影响任何影响，非常适合于重频气体放电激光器。
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公开(公告)号：CN105229535A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480028983.8
申请日：2014-04-16
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , H01S3/225 , H01S3/104 , H01S3/0975
CPC分类号： G03F7/70558 , G03F7/70025 , G03F7/70516 , H01S3/0975 , H01S3/104 , H01S3/225
摘要： 一种选择待施加至辐射源的变量的周期性调制(401)的方法，其中源传递辐射以用于投射至衬底上以及其中在衬底和辐射之间存在以扫描速度的相对运动，方法包括：针对系统参数集合以及针对衬底上的位置，计算量值，量值是源自于被施加至源的变量的调制的对于被传递至该位置的能量剂量(403)贡献的度量，其中对能量剂量的贡献被计算为以下项的卷积：辐射的分布(402)，以及对由源传递的辐射的辐照度的贡献；以及选择调制频率，在该频率处针对系统参数集合和衬底上的位置的量值满足特定准则。
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公开(公告)号：CN1034898C
公开(公告)日：1997-05-14
申请号：CN94115201.4
申请日：1994-09-21
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： H01S3/09 , H01S3/0975 , H01T7/00
摘要： 一种采用旋转火花隙开关的脉冲电激励激光器，包括激光器放电电极(8，9)，全反射铜镜(10)，输出耦合镜(7)，放电电容(5，6)，旋转火花隙开关。开关的固定电极(4)通过放电电容(5，6)与激光器主放电电极(8，9)相连。本发明的机械旋转火花隙开关能承受很大的脉冲能量和很高的脉冲电压。并可以在很高的重复频率下运转。在放电电路阻抗不匹配的情况下不易损坏，易于维修，工作时不需预热时间，本发明的高重复频率高平均功率激光器可广泛用于红外光子离解，光泵红外激光器及激光雷达等应用中。
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公开(公告)号：CN1029762C
公开(公告)日：1995-09-13
申请号：CN91108226.3
申请日：1991-11-08
申请人： 陈曙光
发明人： 陈曙光
IPC分类号： H01S3/227 , H01S3/03 , H01S3/0975
摘要： 本发明给出的一种铜蒸汽激光仪器，属激光治疗仪器。主要有电源、激光管组成。电源有振荡电路、高、低压触发电路，功率推动电路。激光管的长度为1.5米。由于增加了40cm有效长度，激光成倍增加，电源比现有的1米铜蒸汽激光仪器中的电源部分只增加了一个电容和一个电感，由于电容量小，整机工作功率增加很少，但效率提高了很多。机动性好，可以半个激光管工作，也就是LA1或LA2分别工作，需要大功率输出时可同时工作。可以延长激光管工作寿命。
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公开(公告)号：CN112821181B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011617821.1
申请日：2020-12-30
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： H01S3/097 , H01S3/0975
摘要： 本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于驱动准分子激光器的脉冲电路。该脉冲电路包括触发脉冲电路，所述触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元；所述第一供电单元包括第十电容，用于给第十电容充电的充电电源，用于驱动充电之后的第十电容放电的驱动组件；所述第十电容放电用于给气体激光器的触发端供电。本发明无需其它辅助部件的支撑只通过本发明的第一供电单元的自身属性就可以实现第十电容充放电的切换，只通过控制晶体管栅极上接入的电压即可切换第十电容充放电，使得栅极上的电压高低与第十电容充放电状态同步，从而更进一步使得本发明通过第十电容和第二变压器产生的高电压脉冲具有快前沿和低抖动。
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公开(公告)号：CN107251341A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580075815.9
申请日：2015-03-16
申请人： 国立大学法人九州大学 , 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/00 , H01L21/20 , H01L21/268 , H01S3/0975 , H01S3/23
摘要： 一种激光系统，其是作为对被加工物照射脉冲激光的激光退火装置的光源的激光系统，该激光系统可以具备：生成脉冲激光的激光装置；能够改变脉冲激光的脉冲时间波形的脉冲时间波形可变装置；以及从激光退火装置接收脉冲时间波形生成参数，对脉冲时间波形可变装置进行控制的控制部。
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公开(公告)号：CN105098580A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510551462.7
申请日：2015-09-01
申请人： 西北核技术研究所
IPC分类号： H01S3/0975 , H01S3/038 , H01S3/03
摘要： 本发明公开了一种气体放电预电离装置，包括放电电极、预电离针、绝缘基板、密封圈、固定螺母、插拔结构和峰化电容。放电电极和预电离针垂直穿过绝缘基板，并通过密封圈和固定螺母紧固，确保激光气室良好的真空密封性能。预电离针沿电极长度方向均匀布放于放电阴极两侧，电极两侧面加工成尖棱状，与预电离针构成预电离间隙。预电离针与置于气室外部的峰化电容通过插拔结构相联，构成预电离充放电回路。当放电电极加载脉冲高压时预电离间隙快速击穿，形成弧光放电，辐射高强度紫外光，辐照主电极间隙中的激光气体介质，实现介质的紫外光自动预电离。由于预电离针与放电电极处于同一平面内，预电离结构不会对循环气体的流场结构造成影响任何影响，非常适合于重频气体放电激光器。
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公开(公告)号：CN100483870C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200610166423.6
申请日：2006-12-25
申请人： 江苏新潮科技集团有限公司
IPC分类号： H01S3/0975 , H01S3/097 , H01S3/09 , H01S3/10
摘要： 本发明涉及一种射频板条CO2激光器匹配系统可变电容器的自动调节装置及方法，所述装置它包括可变电容C1与C2、电感L、同轴电缆(8)、射频板条CO2激光器(7)、射频源(1)、微波检波器(2)、小信号放大电路(3)、PLC(4)和步进电机(5)。所述方法的具体调节步骤如下：一、射频源输入占空比≤20%的射频脉冲，激光器起辉，同时步进电机以50～70°/s速度正、反转调节可变电容器C2；二、射频源输入40～60%占空比满功率射频脉冲，同时步进电机以3～10°/s速度反、正转调节可变电容器C2。本发明使射频板条CO2激光器顺利起辉、稳定放电。
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公开(公告)号：CN1119357A
公开(公告)日：1996-03-27
申请号：CN94115201.4
申请日：1994-09-21
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： H01S3/09 , H01S3/0975 , H01T7/00
摘要： 一种采用旋转火花隙开关的脉冲电激励激光器，包括激光器放电电极(8，9)，全反射铜镜(10)，输出耦合镜(7)，放电电容(5，6)，旋转火花隙开关。开关的固定电极(4)通过放电电容(5，6)与激光器主放电电极(8，9)相连。本发明的机械旋转火花隙开关能承受很大的脉冲能量和很高的脉冲电压。并可以在很高的重复频率下运转。在放电电路阻抗不匹配的情况下不易损坏，易于维修，工作时不需预热时间。本发明的高重复频率高平均功率激光器可广泛用于红外光子离解，光泵红外激光器及激光雷达等应用中。
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