显影装置及光刻设备
摘要:
本发明公开了一种显影装置及光刻设备,所述显影装置包括显影腔室,所述显影腔室用于容纳待显影的基板,所述显影装置还包括加热机构;所述加热机构包括多个加热件,多个所述加热件设置在所述显影腔室内,以对显影腔室内的位于所述加热机构上方或下方的基板的不同显影位置进行加热,且多个所述加热件能够分别独立控制加热。
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