发明授权
- 专利标题: 显影装置及光刻设备
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申请号: CN201510667135.8申请日: 2015-10-15
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公开(公告)号: CN105116695B公开(公告)日: 2019-09-17
- 发明人: 刘明悬 , 陈曦 , 张小祥 , 郭会斌 , 袁剑峰 , 孙增标 , 罗丽平 , 刘会双 , 闵苏
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方显示技术有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 彭瑞欣; 陈源
- 主分类号: G03F7/30
- IPC分类号: G03F7/30
摘要:
本发明公开了一种显影装置及光刻设备,所述显影装置包括显影腔室,所述显影腔室用于容纳待显影的基板,所述显影装置还包括加热机构;所述加热机构包括多个加热件,多个所述加热件设置在所述显影腔室内,以对显影腔室内的位于所述加热机构上方或下方的基板的不同显影位置进行加热,且多个所述加热件能够分别独立控制加热。
公开/授权文献
- CN105116695A 显影装置及光刻设备 公开/授权日:2015-12-02
IPC分类: