用于制造光电子半导体芯片的方法和光电子半导体芯片
摘要:
在至少一个实施方式中,提出一种用于制造光电子半导体芯片(10)的方法,所述方法包括下述步骤:A)提供载体复合件(11),所述载体复合件是蓝宝石晶片;B)将半导体层序列(2)施加到载体复合件(11)上;以及C)将载体复合件(11)和半导体层序列(2)分成各个半导体芯片(10)。在此,步骤C)包括:D)在载体复合件(11)中在分离区域(S)中通过聚焦的、脉冲的激光辐射(L)分别产生多个能选择性刻蚀的材料改变部,其中激光辐射(L)具有下述波长,在所述波长下,载体复合件(11)是透明的;以及E)将材料改变部湿化学地刻蚀,使得载体复合件(11)仅通过湿化学的刻蚀或以与其他的材料去除法组合的方式分割成用于半导体芯片(2)的各个载体(1)。
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