一种铌酸锂光波导器件的制作方法及其器件
摘要:
本发明公开了一种铌酸锂光波导器件的制作方法及其器件,本发明方法在x切铌酸锂基片上表面和下表面制作有增透作用的介质膜;在介质膜上沿Y轴方向刻蚀出光波导掩模窗口;在掩模窗口内的铌酸锂基片上表面制作光波导;制作调制电极;对铌酸锂基片的光输入端面和光输出端面进行切割,在光输入端面和光输出端面分别制作有增透作用的介质膜;采用本发明的方法,能显著提高铌酸锂光波导芯片的偏振消光比,改善芯片的光学特性。
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