发明授权
- 专利标题: 致动器板分割以及控制装置和方法
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申请号: CN201480027517.8申请日: 2014-03-17
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公开(公告)号: CN105228946B公开(公告)日: 2018-04-20
- 发明人: 达娜·德勒斯 , 肖恩·J·坎宁安 , 阿瑟·S·莫里斯
- 申请人: 维斯普瑞公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 维斯普瑞公司
- 当前专利权人: 瑞声科技(新加坡)有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 梁丽超; 梁韬
- 优先权: 61/792,201 2013.03.15 US
- 国际申请: PCT/US2014/030448 2014.03.17
- 国际公布: WO2014/145646 EN 2014.09.18
- 进入国家日期: 2015-11-12
- 主分类号: B81B7/02
- IPC分类号: B81B7/02 ; H01G5/14
摘要:
提供了操作分割的致动器板以获得微电子机械系统(MEMS)装置的可动部件的期望形状的装置和方法。在一些实施方式中,在本文中描述的主题可以包括一种微电子机械系统(MEMS)装置,其包括:多个致动电极,其附着至第一表面,其中,所述一个或多个致动电极中的每个独立可控;以及可动部件,其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动,其中,所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。
公开/授权文献
- CN105228946A 致动器板分割以及控制装置和方法 公开/授权日:2016-01-06