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公开(公告)号：CN105228946B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201480027517.8
申请日：2014-03-17
申请人： 维斯普瑞公司
CPC分类号： B81B3/001 , B81B3/0051 , B81B3/0056 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01G4/1227 , H01G5/18
摘要： 提供了操作分割的致动器板以获得微电子机械系统(MEMS)装置的可动部件的期望形状的装置和方法。在一些实施方式中，在本文中描述的主题可以包括一种微电子机械系统(MEMS)装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。
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公开(公告)号：CN1695233A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN02826975.6
申请日：2002-11-08
发明人： 肖恩·J·坎宁安 , 斯韦特兰娜·塔蒂克-卢奇克
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/4763 , H01P1/10 , H01H57/00 , H02B1/00
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
摘要： 一种用于制造三层横梁MEMS器件的方法，包括：在衬底上淀积牺牲层(310)，和移去牺牲层(310)上的第一导电层的一部分来形成第一导电微型结构(312)；在第一导电微型结构(312)、牺牲层(310)和衬底(300)上淀积结构层(322)，并且形成一个穿过结构层(322)到达第一导电微型结构(312)的通路；在结构层(322)上和通路中淀积第二导电层(336)；通过移去第二导电层(336)的一部分来形成第二导电微型结构(324)，其中第二导电微型结构(324)通过该通路与第一导电微型结构(312)电通信；并且移去足够量的牺牲层(310)以使第一导电微型结构(312)和该衬底分开，其中在第一端由衬底支撑结构层(322)且在相对的第二端在衬底的上方自由悬挂。
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公开(公告)号：CN100474519C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN02826975.6
申请日：2002-11-08
发明人： 肖恩·J·坎宁安 , 斯韦特兰娜·塔蒂克-卢奇克
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/4763 , H01P1/10 , H01H57/00 , H02B1/00
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
摘要： 一种用于制造三层横梁MEMS器件的方法，包括：在衬底上淀积牺牲层(310)，和移去牺牲层(310)上的第一导电层的一部分来形成第一导电微型结构(312)；在第一导电微型结构(312)、牺牲层(310)和衬底(300)上淀积结构层(322)，并且形成一个穿过结构层(322)到达第一导电微型结构(312)的通路；在结构层(322)上和通路中淀积第二导电层(336)；通过移去第二导电层(336)的一部分来形成第二导电微型结构(324)，其中第二导电微型结构(324)通过该通路与第一导电微型结构(312)电通信；并且移去足够量的牺牲层(310)以使第一导电微型结构(312)和该衬底分开，其中在第一端由衬底支撑结构层(322)且在相对的第二端在衬底的上方自由悬挂。
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公开(公告)号：CN1613128A
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN02826914.4
申请日：2002-11-08
发明人： 肖恩·J·坎宁安 , 达纳·R·德吕斯 , 苏巴哈姆·塞特 , 斯韦特兰娜·塔蒂克-卢奇克
IPC分类号： H01H57/00
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
摘要： 提供一种悬挂在基板(102)上的活动的、三层微元件(108)，并且包括第一导电层(116)，将该第一导电层构图限定活动电极(114)。用间隙将基板(102)与第一金属层(116)分开。微元件(108)还包括在第一金属层(116)上形成并且一端相对于基板(102)固定的电介质层(112)。此外，微元件(102)包括在介质层(112)上形成的第二导电层(120)，并且构图限定与活动电极(114)电连接的电极互连(124)。
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公开(公告)号：CN106463311B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201580017830.8
申请日：2015-04-01
申请人： 维斯普瑞公司
发明人： 戴维·莫利内罗-希莱斯 , 肖恩·J·坎宁安 , 达娜·德雷乌斯
IPC分类号： H01H59/00
摘要： 本主题涉及用于减少RF MEMS致动器元件中表面介电充电的系统、装置和方法。具体地，一种微机电系统(MEMS)可以包括：固定电极，其定位在基板上；可动电极，其定位在固定电极大致上方且与固定电极分离有间隙；以及至少一个孤立凸块，其定位在固定电极和可动电极之间，其中，至少一个孤立凸块延伸进入间隙中。在该构造中，固定电极或可动电极中的一个或两个可以被图案化以限定与至少一个孤立凸块中的一个或多个大致对齐的一个或多个孔。所述凸块和孔都可以有助于减少表面介电充电率和所产生的电荷总量。
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公开(公告)号：CN108439325A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810243295.3
申请日：2014-03-17
申请人： 维斯普瑞公司
CPC分类号： B81B3/001 , B81B3/0051 , B81B3/0056 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01G4/1227 , H01G5/18
摘要： 本申请公开了微电子机械系统装置及调整其可动部件的形状的方法，该微电子机械系统装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。
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公开(公告)号：CN106463311A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580017830.8
申请日：2015-04-01
申请人： 维斯普瑞公司
发明人： 戴维·莫利内罗-希莱斯 , 肖恩·J·坎宁安 , 达娜·德雷乌斯
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B3/0086 , B81B2203/04 , H01H49/00 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： 本主题涉及用于减少RF MEMS致动器元件中表面介电充电的系统、装置和方法。具体地，一种微机电系统(MEMS)可以包括：固定电极，其定位在基板上；可动电极，其定位在固定电极大致上方且与固定电极分离有间隙；以及至少一个孤立凸块，其定位在固定电极和可动电极之间，其中，至少一个孤立凸块延伸进入间隙中。在该构造中，固定电极或可动电极中的一个或两个可以被图案化以限定与至少一个孤立凸块中的一个或多个大致对齐的一个或多个孔。所述凸块和孔都可以有助于减少表面介电充电率和所产生的电荷总量。
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公开(公告)号：CN105228946A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201480027517.8
申请日：2014-03-17
申请人： 维斯普瑞公司
CPC分类号： B81B3/001 , B81B3/0051 , B81B3/0056 , B81B2201/0221 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01G4/1227 , H01G5/18
摘要： 提供了操作分割的致动器板以获得微电子机械系统(MEMS)装置的可动部件的期望形状的装置和方法。在一些实施方式中，在本文中描述的主题可以包括一种微电子机械系统(MEMS)装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。
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公开(公告)号：CN1292447C
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN02826914.4
申请日：2002-11-08
发明人： 肖恩·J·坎宁安 , 达纳·R·德吕斯 , 苏巴哈姆·塞特 , 斯韦特兰娜·塔蒂克-卢奇克
IPC分类号： H01H57/00
CPC分类号： B81B3/0024 , B81B3/0051 , B81B2201/014 , B81B2201/018 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2207/07 , B81C1/0015 , B81C2201/0107 , B81C2201/0108 , B81C2201/0109 , H01H1/04 , H01H1/504 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0089 , H01H2059/0072 , H01H2061/006 , H01L23/3735 , H01L23/522 , H01L27/1203 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H02N1/006 , H02N10/00 , Y10T29/49222 , H01L2924/00
摘要： 提供一种悬挂在基板(102)上的活动的、三层微元件(108)，并且包括第一导电层(116)，将该第一导电层构图限定活动电极(114)。用间隙将基板(102)与第一金属层(116)分开。微元件(108)还包括在第一金属层(116)上形成并且一端相对于基板(102)固定的电介质层(112)。此外，微元件(102)包括在介质层(112)上形成的第二导电层(120)，并且构图限定与活动电极(114)电连接的电极互连(124)。
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