一种硅芯电阻率的检测装置
摘要:
本发明提供一种硅芯电阻率的检测装置,包括N个金属探头、操作台、恒流电源、电压测量单元、控制单元和计算单元,N≥3,每个金属探头的底部均设置有两根金属探针,操作台使该N个金属探头沿待测硅芯的轴向均匀排列,并使每根金属探针以一定的压力垂直放置在待测硅芯表面上;恒流电源向待测硅芯提供恒定的直流电流;电压测量单元同时测量每个金属探头的两根金属探针之间的电位差;控制单元控制恒流电源输出的直流电流和电压测量单元中测量回路的正、反向,以及将恒流电源、电压测量单元的输出值转换为计算单元可识别的数据;计算单元根据其内预存的计算公式和控制单元输出的数据计算待测硅芯的电阻率。本发明所述检测装置的测量效率和精度较高。
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