脆性材料基板的端材分离方法及端材分离装置
Abstract:
本发明涉及一种脆性材料基板的端材分离方法及端材分离装置,其课题在于准确地将沿纵向及横向整齐排列地形成有功能区域、且形成有划线的基板的周围的端材分离。本发明的解决方法为如下所述。将基板(20)保持在端材分离台(15)上。端材分离台(15)具有腔室(52)与其上部的底板(53)及弹性板(54),且在弹性板(54)与底板(53)设置有多个开口。另外,通过从弹性板(54)的开口吸引空气而保持其上表面的基板(20)。通过使对向的边的高度相互不同的框状的推板(47)与基板(20)的面平行地下降,而使基板(20)的周围的端材分离。
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