发明授权
CN105314587B 微机械结构及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 微机械结构及其制造方法
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申请号: CN201510463020.7申请日: 2015-07-31
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公开(公告)号: CN105314587B公开(公告)日: 2017-04-12
- 发明人: U·施密德 , T·弗里施穆斯 , P·伊尔斯格勒 , T·格里勒 , D·莫勒 , U·赫德尼格 , M·卡恩 , G·德尼弗尔
- 申请人: 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址: 德国诺伊比贝尔格
- 专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 德国诺伊比贝尔格
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 郑立柱
- 优先权: 14/448,783 20140731 US
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00 ; B81C1/00 ; H04R31/00
摘要:
一种微机械结构包括衬底和被布置在该衬底处的功能结构。该功能结构包括功能区,该功能区响应于作用在该功能区上的力相对于衬底可偏离。该功能结构还包括导电基层,该导电基层包括导电基层材料。该导电基层材料在硬化部分中分段地包括碳材料,从而碳材料在该导电基层材料中的碳浓度是至少1014/cm3,并且至少为邻近硬化部分的导电基层材料中的碳浓度的103倍。
公开/授权文献
- CN105314587A 微机械结构及其制造方法 公开/授权日:2016-02-10