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公开(公告)号:CN104141113A
公开(公告)日:2014-11-12
申请号:CN201410150345.5
申请日:2014-04-15
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
CPC分类号: H01L21/02115 , C23C16/26 , C23C16/56 , H01L21/02164 , H01L21/0217 , H01L21/022 , H01L21/02263 , H01L21/02274 , H01L21/02304 , H01L21/02362
摘要: 通过相应地选择处理参数,可以由等离子体增强化学气相沉积来沉积具有减少的氢含量的碳层。这样的碳层可以经受高温处理,而不显现过大的收缩。
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公开(公告)号:CN105314590A
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201510455584.6
申请日:2015-07-29
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
CPC分类号: B81B3/0021 , B06B1/02 , B81B3/007 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81B2203/051 , B81C1/00142 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C1/00373 , B81C2201/0176 , B81C2201/0181 , B81C2201/019 , H04R7/02 , H04R7/24 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2307/023 , H04R2400/01 , H04R2499/11
摘要: 一种微机械结构,其包括衬底和布置在衬底处的功能性结构。功能性结构包括功能性区域,功能性区域配置为响应于作用在功能性区域上的力而相对于衬底偏转。功能性结构包括传导性基础层并且功能性结构包括具有布置在传导性基础层处并且仅在功能性区域处部分地覆盖传导性基础层的固化结构材料的固化结构。固化结构材料包括硅材料以及至少碳材料。
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公开(公告)号:CN105314587A
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201510463020.7
申请日:2015-07-31
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
CPC分类号: B81C1/00658 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2307/023
摘要: 一种微机械结构包括衬底和被布置在该衬底处的功能结构。该功能结构包括功能区,该功能区响应于作用在该功能区上的力相对于衬底可偏离。该功能结构还包括导电基层,该导电基层包括导电基层材料。该导电基层材料在硬化部分中分段地包括碳材料,从而碳材料在该导电基层材料中的碳浓度是至少1014/cm3,并且至少为邻近硬化部分的导电基层材料中的碳浓度的103倍。
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公开(公告)号:CN105314590B
公开(公告)日:2017-06-16
申请号:CN201510455584.6
申请日:2015-07-29
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
CPC分类号: B81B3/0021 , B06B1/02 , B81B3/007 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81B2203/051 , B81C1/00142 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C1/00373 , B81C2201/0176 , B81C2201/0181 , B81C2201/019 , H04R7/02 , H04R7/24 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2307/023 , H04R2400/01 , H04R2499/11
摘要: 一种微机械结构,其包括衬底和布置在衬底处的功能性结构。功能性结构包括功能性区域,功能性区域配置为响应于作用在功能性区域上的力而相对于衬底偏转。功能性结构包括传导性基础层并且功能性结构包括具有布置在传导性基础层处并且仅在功能性区域处部分地覆盖传导性基础层的固化结构材料的固化结构。固化结构材料包括硅材料以及至少碳材料。
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公开(公告)号:CN105314587B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201510463020.7
申请日:2015-07-31
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
CPC分类号: B81C1/00658 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2307/023
摘要: 一种微机械结构包括衬底和被布置在该衬底处的功能结构。该功能结构包括功能区,该功能区响应于作用在该功能区上的力相对于衬底可偏离。该功能结构还包括导电基层,该导电基层包括导电基层材料。该导电基层材料在硬化部分中分段地包括碳材料,从而碳材料在该导电基层材料中的碳浓度是至少1014/cm3,并且至少为邻近硬化部分的导电基层材料中的碳浓度的103倍。
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公开(公告)号:CN105304536A
公开(公告)日:2016-02-03
申请号:CN201510446903.7
申请日:2015-07-27
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
IPC分类号: H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/205
CPC分类号: C23C16/4587 , C23C8/10 , C23C16/458 , H01L21/02233 , H01L21/02271 , H01L21/0262 , H01L21/67309 , H01L21/67313 , H01L21/67754 , H01L21/67757 , H01L21/67303 , H01L21/205 , H01L21/67739
摘要: 公开了在立式炉中移动衬底的衬底载具系统和处理衬底的方法。在一些实施例中,一种用于氧化材料或沉积材料的方法包括通过衬底载具承载多个衬底和将衬底载具插入立式炉内,其中多个衬底由衬底载具保持在预定位置,其中多个衬底中的在预定位置中的一个位置处的衬底的主表面与竖直方向之间测得的角度小于20度。方法进一步包括氧化多个衬底上的材料或将材料沉积到多个衬底上。
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公开(公告)号:CN106185781B
公开(公告)日:2019-10-25
申请号:CN201610326879.8
申请日:2016-05-17
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
摘要: 本发明的各个实施例涉及微机械结构及其制造方法。微机械结构包括衬底和布置在该衬底上的功能结构。功能结构包括功能区域,该功能区域可响应于作用在该功能区域上的力而相对于衬底偏转。功能结构包括碳层构造,其中碳层构造的基体材料是碳材料。
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公开(公告)号:CN106185781A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610326879.8
申请日:2016-05-17
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
摘要: 本发明的各个实施例涉及微机械结构及其制造方法。微机械结构包括衬底和布置在该衬底上的功能结构。功能结构包括功能区域,该功能区域可响应于作用在该功能区域上的力而相对于衬底偏转。功能结构包括碳层构造,其中碳层构造的基体材料是碳材料。
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