发明公开
- 专利标题: 一种回收废旧氮化硅制备β-氮化硅增韧颗粒的方法
- 专利标题(英): Method for preparing beta-silicon nitride toughened particles by recycling waste silicon nitride
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申请号: CN201410721542.8申请日: 2014-12-03
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公开(公告)号: CN105314984A公开(公告)日: 2016-02-10
- 发明人: 郑海 , 唐明亮 , 刘宝 , 杨学根 , 胡增涵 , 李雪
- 申请人: 南京工业大学东海先进硅基材料研究院
- 申请人地址: 江苏省连云港市东海县晶都大道科教创业园区B栋303室
- 专利权人: 南京工业大学东海先进硅基材料研究院
- 当前专利权人: 南京工业大学东海先进硅基材料研究院
- 当前专利权人地址: 江苏省连云港市东海县晶都大道科教创业园区B栋303室
- 主分类号: C04B35/584
- IPC分类号: C04B35/584 ; C04B35/626
摘要:
本发明提供了一种从废旧石英坩埚表面回收、制取β-氮化硅的方法。该方法包括:①将含有二氧化硅、硅、金属等杂质的氮化硅原料加入稀酸液,进行一次常温酸洗,除去金属杂质;②常温下进行二次氢氟酸酸洗,去除二氧化硅及部分硅;③采用纯水清洗呈中性,真空烘干;④1300-1550℃高温氮化处理,得到β-氮化硅;⑤球磨粉碎,筛分分级,选取粒度小于10μm的β-氮化硅。本发明的方法实现了废旧石英坩埚表面氮化硅涂层的高纯回收利用,制取的β-氮化硅可以用作氮化硅陶瓷生产中的增韧材料。
IPC分类: