一种回收废旧氮化硅制备β-氮化硅增韧颗粒的方法
摘要:
本发明提供了一种从废旧石英坩埚表面回收、制取β-氮化硅的方法。该方法包括:①将含有二氧化硅、硅、金属等杂质的氮化硅原料加入稀酸液,进行一次常温酸洗,除去金属杂质;②常温下进行二次氢氟酸酸洗,去除二氧化硅及部分硅;③采用纯水清洗呈中性,真空烘干;④1300-1550℃高温氮化处理,得到β-氮化硅;⑤球磨粉碎,筛分分级,选取粒度小于10μm的β-氮化硅。本发明的方法实现了废旧石英坩埚表面氮化硅涂层的高纯回收利用,制取的β-氮化硅可以用作氮化硅陶瓷生产中的增韧材料。
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