发明授权
- 专利标题: 一种光电探测器及其制备方法
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申请号: CN201410334652.9申请日: 2014-07-14
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公开(公告)号: CN105322034B公开(公告)日: 2017-06-13
- 发明人: 温鹏雁 , 李德尧 , 张书明 , 刘建平 , 张立群 , 杨辉
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 杭州增益光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 代理机构: 深圳市科进知识产权代理事务所
- 代理商 宋鹰武; 沈祖锋
- 主分类号: H01L31/0352
- IPC分类号: H01L31/0352 ; H01L31/103 ; H01L31/18
摘要:
本发明提供了一种光电探测器,在光电转换层上外延生长光衰减层,所述光衰减层与所述光电转换层的材料相同或所述光衰减层的材料带隙比所述光电转换层的材料带隙窄,使得入射至光探测器的强光在到达pn结空间电荷区之前,大部分被所述光衰减层吸收,当光衰减层的厚度固定后,照射到pn结空间电荷区的光强与入射光光强的比例也确定,且该比例在探测器制作完成后会保持稳定不变。因此,虽然照射到pn结空间电荷区的光已被光衰减层所衰减,但通过光电流的测量仍然可以确定入射光的光功率,从而能够提供准确的光功率信息。
公开/授权文献
- CN105322034A 一种光电探测器及其制备方法 公开/授权日:2016-02-10
IPC分类: