- 专利标题: 固体摄像元件及其制造方法、固体摄像装置和摄像装置
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申请号: CN201510717533.6申请日: 2011-08-24
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公开(公告)号: CN105355639B公开(公告)日: 2019-06-07
- 发明人: 大庭义行 , 桧山晋 , 押山到
- 申请人: 索尼公司
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 索尼公司
- 当前专利权人: 索尼公司
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
- 代理商 曹正建; 陈桂香
- 优先权: 2010-194181 2010.08.31 JP
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146 ; H01L21/77 ; H04N5/225
摘要:
本发明公开了一种固体摄像元件、固体摄像元件的制造方法、固体摄像装置和摄像装置。所述固体摄像元件包括:半导体基板,所述半导体基板包括用于对入射光进行光电转换的受光部;第一氧化物层,所述第一氧化物层形成在所述半导体基板的表面上;以及第二氧化物层,所述第二氧化物层位于所述第一氧化物层和平坦化膜之间,其中,所述第二氧化物层的形成材料的氧化焓小于所述第一氧化物层的形成材料的氧化焓。所述固体摄像装置包括所述固体摄像元件和光学系统。所述摄像装置包括所述固体摄像元件、光学系统和信号处理部。本发明能够避免界面损坏并且能够在不降低可靠性和粘着性的前提下抑制暗电流。
公开/授权文献
- CN105355639A 固体摄像元件及其制造方法、固体摄像装置和摄像装置 公开/授权日:2016-02-24
IPC分类: