发明公开
CN105370587A 一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵
无效 - 撤回
- 专利标题： 一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵
- 专利标题（英）： Compound molecular pump capable of reducing traction-level gap backflow
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申请号： CN201510895340.X申请日： 2015-12-07
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公开(公告)号： CN105370587A公开(公告)日： 2016-03-02
- 发明人: 王晓冬 , 巴德纯 , 张磊 , 付强 , 张鹏飞 , 陶继忠
- 申请人： 东北大学
- 申请人地址： 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- 专利权人： 东北大学
- 当前专利权人： 东北大学
- 当前专利权人地址： 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- 代理机构： 沈阳东大知识产权代理有限公司
- 代理商 梁焱
- 主分类号： F04D19/04
- IPC分类号： F04D19/04 ; F04D29/52
摘要：
一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵，在牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构，其包括环向凸台及环向凹槽，环向凸台与环向凹槽彼此正对设置，且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凸台设置在牵引转子上，环向凹槽设置在定子上；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凸台设置在定子上，环向凹槽设置在牵引转子上；防气体返流结构设置在复合分子泵的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置；在轴向方向上，环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度；环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1～5倍。
