一种采用波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法
摘要:
本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置,固定反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数);每束激光经分光镜后变为两束,其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射,到达光电探测器,同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯型反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,同时采用波长修正方法获得环境等效波长,显著提高了测量精度。
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