发明授权
- 专利标题： 静电致动器和用于生产其的方法
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申请号： CN201480030847.2申请日： 2014-05-26
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公开(公告)号： CN105392733B公开(公告)日： 2017-03-15
- 发明人: 尼古拉斯·兰格 , 弗兰克·维普曼
- 申请人： 弗朗霍夫应用科学研究促进协会
- 申请人地址： 德国慕尼黑
- 专利权人： 弗朗霍夫应用科学研究促进协会
- 当前专利权人： 弗朗霍夫应用科学研究促进协会
- 当前专利权人地址： 德国慕尼黑
- 代理机构： 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 宋融冰
- 优先权： 102013209804.9 2013.05.27 DE
- 国际申请： PCT/EP2014/060849 2014.05.26
- 国际公布： WO2014/191361 DE 2014.12.04
- 进入国家日期： 2015-11-27
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; H02N1/00
摘要：
本发明涉及一种静电致动器，包括静止电极(22’)包括在重叠区域内与静止电极(14)相对设置并且沿静止电极(14)的方向能够移动的悬臂电极(29)。(14)和一端被紧固的弯折部分(22’)，弯折部分
公开/授权文献
- CN105392733A 静电致动器和用于生产其的方法 公开/授权日：2016-03-09
