公开(公告)号：CN105392733B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201480030847.2

申请日：2014-05-26

Applicant: 弗朗霍夫应用科学研究促进协会

Inventor： 尼古拉斯·兰格 ,  弗兰克·维普曼

IPC: B81B3/00 ,  H02N1/00

CPC classification number: H02N1/006 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/019 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/058

Abstract: 本发明涉及一种静电致动器，包括静止电极(22’)包括在重叠区域内与静止电极(14)相对设置并且沿静止电极(14)的方向能够移动的悬臂电极(29)。(14)和一端被紧固的弯折部分(22’)，弯折部分

公开(公告)号：CN105392733A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201480030847.2

申请日：2014-05-26

Applicant: 弗朗霍夫应用科学研究促进协会

Inventor： 尼古拉斯·兰格 ,  弗兰克·维普曼

IPC: B81B3/00 ,  H02N1/00

CPC classification number: H02N1/006 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/019 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/058

Abstract: 本发明涉及一种静电致动器，包括静止电极(14)和一端被紧固的弯折部分(22’)，弯折部分(22’)包括在重叠区域内与静止电极(14)相对设置并且沿静止电极(14)的方向能够移动的悬臂电极(29)。