半导体器件及其制造方法
摘要:
本发明的目的在于,提供一种具备能够在抑制制造时的抗蚀剂垮塌的同时有效地缓和电场集中的终端区域的半导体器件及其制造方法。本发明的半导体器件具备:形成于由第1导电类型的碳化硅半导体构成的半导体基板的半导体元件(110);以及在俯视时包围半导体元件(110)而形成于半导体基板(1)的第2导电类型的多个环状区域(2),多个环状区域(2)中的至少一个具备使该环状区域(2)的在俯视时内侧和外侧的第1导电类型的区域在俯视时相互连通的一个以上的第1导电类型的隔开区域(5)。
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