一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构
摘要:
本发明属于敏感结构,具体涉及一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构,呈左右对称分布,左右半边主体结构均由驱动框、驱动检测转接框、检测框三框组成,其中驱动框设置在最外侧,检测框在最内侧,驱动检测转接框设置在中间,左右半边主体通过驱动框和驱动检测转接框连接为一个整体;驱动检测转接框上设有正交耦合误差抑制结构。本发明的效果是:本发明采用对称式三框设计,即驱动框、驱动检测转接框、检测框,同时采用单自由度梁连接各框,进而限定各框和质量块的运动自由度,实现了驱动与检测之间的双向解耦,能够在很大程度上抑制耦合误差。
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