- 专利标题: 一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构
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申请号: CN201510727774.9申请日: 2015-10-30
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公开(公告)号: CN105424020B公开(公告)日: 2018-06-26
- 发明人: 郭中洋 , 杨军 , 刘飞 , 盛洁 , 窦茂莲 , 胡兴雷 , 崔健 , 林梦娜 , 刘凯
- 申请人: 北京自动化控制设备研究所
- 申请人地址: 北京市丰台区云岗北区西里1号院
- 专利权人: 北京自动化控制设备研究所
- 当前专利权人: 北京自动化控制设备研究所
- 当前专利权人地址: 北京市丰台区云岗北区西里1号院
- 代理机构: 核工业专利中心
- 代理商 刘昕宇
- 主分类号: G01C19/5747
- IPC分类号: G01C19/5747
摘要:
本发明属于敏感结构,具体涉及一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构,呈左右对称分布,左右半边主体结构均由驱动框、驱动检测转接框、检测框三框组成,其中驱动框设置在最外侧,检测框在最内侧,驱动检测转接框设置在中间,左右半边主体通过驱动框和驱动检测转接框连接为一个整体;驱动检测转接框上设有正交耦合误差抑制结构。本发明的效果是:本发明采用对称式三框设计,即驱动框、驱动检测转接框、检测框,同时采用单自由度梁连接各框,进而限定各框和质量块的运动自由度,实现了驱动与检测之间的双向解耦,能够在很大程度上抑制耦合误差。
公开/授权文献
- CN105424020A 一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构 公开/授权日:2016-03-23
IPC分类: