公开(公告)号：CN118882621A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411205581.2

申请日：2024-08-30

申请人： 华东光电集成器件研究所

发明人： 周铭 ,  商兴莲 ,  解亚飞 ,  齐越 ,  凤瑞

IPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本发明公开了一种微机械传感器技术领域的可抵消正交力的环形陀螺，旨在解决现有技术中MEMS环形振动陀螺的实时抑制正交误差难的问题，其包括中心锚点，中心锚点外周等间隔连接有多个支撑梁，支撑梁的一端连接中心锚点，且另一端连接弹性环，弹性环外周周向等间隔设置有多个环形电极；弹性环与支撑梁连接处设有正交抵消电极，正交抵消电极包括动梳齿、第一固定梳齿和第二固定梳齿，第一固定梳齿和第二固定梳齿下方与基片连接，且以对应支撑梁为对称轴对称设置，动梳齿的数量为2，其一端均与弹性环连接，另一端分别等交叠长度、等间隙设于第一固定梳齿和第二固定梳齿内。本发明具有零偏小、长期稳定性高等优点，适合作为闭环力平衡速率模式的环形陀螺。

公开(公告)号：CN113758477B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202110622709.5

申请日：2021-06-04

申请人： 美国亚德诺半导体公司

发明人： J·A·格雷戈里 ,  C·布莱克莫尔 ,  T·A·杜恩 ,  E·O·黄 ,  邝锦波 ,  贾克妙 ,  L·C·波帕 ,  I·P·普里霍德科 ,  E·塔塔尔

IPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪)。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。

公开(公告)号：CN110998232B

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN201880051117.9

申请日：2018-07-30

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  N·博德 ,  B·库尔曼 ,  N·F·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡

IPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5747

摘要： 向(103)布置的Y方向(102)反相地偏移，其中，所本发明要求保护一种转速传感器(1)，具有 述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第一带着主延伸平面的衬底和第一质量振动器(2)和 旋转轴线旋转时受到沿Z方向(103)的第一力，其第二质量振动器(3)，其中，所述第一和第二质量 中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所振动器(2、3)与所述衬底能振动地连接，并且此 述第二旋转轴线旋转时受到沿X方向(101)的第外，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振 二力。动器(3)能振动地相互连接，其中，所述第一质量振动器(2)包括第一电极组件(7)，其中，所述第二质量振动器(3)包括第二电极组件(8)，其中，所述衬底包括第三电极组件(9)，其中，所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第一旋转轴线的第一转速和/或所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第二旋转轴线的第二转速，其中，所述第一旋转轴线沿着基本上平行于所述主延伸平面布置的X方向(101)延伸，其中，所述第二旋转轴线沿着基本上垂直于所述主延伸平面布置的Z方向(103)延伸，其中，所述第一质量振动器(2)

公开(公告)号：CN117537796A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311499387.5

申请日：2023-11-13

申请人： 成都博纳神梭科技发展有限公司

发明人： 胡永龙 ,  董自强 ,  高杰 ,  崔焱 ,  柳星普

IPC分类号： G01C19/5733 ,  G01C19/5747

摘要： 本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种三轴MEMS陀螺仪，包括：四个质量块，四个质量块呈正交对称分布，分别为第一质量块、第二质量块、第三质量块及第四质量块；中心耦合组件，包括中心锚点和中心连接件；检测块和检测连接梁，检测块的个数为四个，四个检测块分别与四个质量块一一对应设置，设置在第二质量块和第四质量块上的检测块和与其正对的衬底形成第一方向检测电极，设置在第一质量块和第三质量块上的检测块和与其正对衬底形成第二方向检测电极；第三方向检测电极组，设置在质量块上且能够检测第三方向的角速度。本发明公开的三轴MEMS陀螺仪增设的检测块和检测连接梁能够提升检测的线性度，有效增加测量精度。

公开(公告)号：CN106352866B

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201610559524.3

申请日：2016-07-15

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： M·哈塔斯 ,  D·奇毛 ,  T·巴尔斯林科

IPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本发明涉及转速传感器，包括基底、第一驱动结构、第二驱动结构、第一探测结构、第二探测结构、第三探测结构和第四探测结构。该转速传感器包括驱动装置，用于使第一和第二驱动结构从静止位置偏出从而使得它们能被激励成具有基本反相的运动分量的振动。第一和第二探测结构借助耦合结构耦合，使得在第一转速和/或在第二转速的情况下能够探测基本垂直于驱动方向作用到第一探测结构上的第一力作用和作用到第二探测结构上的第二力作用，第一和第二力作用基本反相，第三和第四探测结构借助于耦合结构耦合，使得在第二转速和/或在第三转速的情况下能探测基本垂直于主延伸平面作用到第三探测结构上的第三力作用和作用到第四探测结构上的第四力作用。

公开(公告)号：CN111879303A

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN202010546410.1

申请日：2020-06-16

申请人： 深迪半导体(上海)有限公司

发明人： 邹波 ,  郭梅寒

IPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本发明提供了一种电容式MEMS陀螺仪及其加快起振速度的方法，所述电容式MEMS陀螺仪包括衬底、可动质量块、直流信号端、地线、第一开关、第二开关、第三开关；所述直流信号端经过所述第一开关电连接所述可动质量块；所述直流信号端经过所述第二开关电连接所述衬底；所述直流信号端依次经过所述第二开关和所述第三开关电连接所述地线；所述衬底经过所述第三开关电连接所述地线。

公开(公告)号：CN110998232A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201880051117.9

申请日：2018-07-30

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： R·诺伊 ,  A·拉斯尔 ,  N·博德 ,  B·库尔曼 ,  N·F·库尔曼 ,  P·德根费尔德-舍恩堡

IPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5747

摘要： 本发明要求保护一种转速传感器(1)，具有带着主延伸平面的衬底和第一质量振动器(2)和第二质量振动器(3)，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)与所述衬底能振动地连接，并且此外，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振动器(3)能振动地相互连接，其中，所述第一质量振动器(2)包括第一电极组件(7)，其中，所述第二质量振动器(3)包括第二电极组件(8)，其中，所述衬底包括第三电极组件(9)，其中，所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第一旋转轴线的第一转速和/或所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第二旋转轴线的第二转速，其中，所述第一旋转轴线沿着基本上平行于所述主延伸平面布置的X方向(101)延伸，其中，所述第二旋转轴线沿着基本上垂直于所述主延伸平面布置的Z方向(103)延伸，其中，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振动器(3)在驱动运动方向上能沿着垂直于所述X方向(101)并且垂直于所述Z方向(103)布置的Y方向(102)反相地偏移，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第一旋转轴线旋转时受到沿Z方向(103)的第一力，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第二旋转轴线旋转时受到沿X方向(101)的第二力。

公开(公告)号：CN108449950A

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201680067979.1

申请日：2016-11-10

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： R.诺伊尔 ,  T.奥姆斯 ,  R.莫尔 ,  M.哈塔斯 ,  C.赫普纳 ,  O-A.普吕茨 ,  B.施密特 ,  R.舍本 ,  F.霍伊克

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/5747 ,  B81B2201/0242 ,  G01C19/5712

摘要： 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。

公开(公告)号：CN103528579B

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201310253619.9

申请日：2013-06-24

申请人： 索尼半导体解决方案公司

发明人： 椛泽秀年 ,  渡边成人

IPC分类号： G01C19/5747

CPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5656 ,  G01P1/023

摘要： 一种传感器装置，包括传感器元件和配线基板，所述配线基板具有与所述传感器元件电接合的第一接合面、含有有机绝缘材料并且埋设有电子部件的基板本体、以及调节所述第一接合面以避免变形的调节部分。

公开(公告)号：CN105424020B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201510727774.9

申请日：2015-10-30

申请人： 北京自动化控制设备研究所

发明人： 郭中洋 ,  杨军 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  窦茂莲 ,  胡兴雷 ,  崔健 ,  林梦娜 ,  刘凯

IPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本发明属于敏感结构，具体涉及一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构，呈左右对称分布，左右半边主体结构均由驱动框、驱动检测转接框、检测框三框组成，其中驱动框设置在最外侧，检测框在最内侧，驱动检测转接框设置在中间，左右半边主体通过驱动框和驱动检测转接框连接为一个整体；驱动检测转接框上设有正交耦合误差抑制结构。本发明的效果是：本发明采用对称式三框设计，即驱动框、驱动检测转接框、检测框，同时采用单自由度梁连接各框，进而限定各框和质量块的运动自由度，实现了驱动与检测之间的双向解耦，能够在很大程度上抑制耦合误差。