一种小型能量连续可调无谐波软X射线无谐波光束线系统
摘要:
本发明公开了一种小型能量连续可调无谐波软X射线无谐波光束线系统,包括:由一台准连续输出台面化激光器、一套激光光束扩束聚焦系统、一套真空靶室系统和一套电控调节转盘靶系统构成的准连续输出连续谱软X射线光源;由一个前置狭缝、一块水平聚焦软X射线反射镜、一块垂直聚焦软X射线反射镜、一块软X射线平面反射镜、四块不同线密度的软X射线反射式单级衍射光栅、一套电控调节系统、一套电控调节系统软件和一个后置狭缝构成的软X射线无谐波光栅单色仪。本发明占地面积小,建造、运行成本低;无高次谐波污染,输出光束光谱纯度高,无需配备谐波抑制技术设施。
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