本发明提供了功率器件及其制造方法。一种具有快速开关特性、同时保持EMI噪声为最小的功率器件，并提供了一种制造这样的功率器件的方法。所述功率器件包括：第一场阑层，所述第一场阑层具有第一导电类型；第一漂移区，所述第一漂移区形成于所述第一场阑层上，并具有呈低于所述第一场阑层的杂质浓度的第一导电类型；掩埋区，所述掩埋区形成于所述第一漂移区上，并具有呈高于所述第一漂移区的杂质浓度的所述第一导电类型；第二漂移区，所述第二漂移区形成于所述掩埋区上；功率器件单元，所述功率器件单元形成于所述第二漂移区的上部处；以及集电极区，所述集电极区形成于所述第一场阑层的下方。