同面电极光电二极管阵列及其制作方法
摘要:
公开了一种同面电极光电二极管阵列及其制作方法。在低电阻率衬底,高电阻率外延类型的外延硅片的顶侧,形成第一导电类型重掺杂区域和第二导电类型掺杂区域,分别为光电二极管的阴极和阳极。该结构包括在阳极和阴极之间形成的沟槽结构,该沟槽结构可由空隙、绝缘材料、传导结构、反射材料和离子注入构成;也可以包括在阳极和阴极下方形成第一导电类型重掺杂区域、绝缘隔离层或带绝缘层的传导结构等。
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