红外线温度传感器及利用红外线温度传感器的装置
摘要:
本发明提供一种可减轻膜的变形并实现高精度化,从而能够确保可靠性的红外线温度传感器及利用红外线温度传感器的装置。红外线温度传感器(1)包括:膜(3),吸收红外线;罩体(2),覆盖并保持膜(3),并且与膜(3)之间形成密闭的空间部(22c)、(24b),包括具有开口部(23a)而引导红外线的导光部(23)以及具有遮蔽壁(24a)而遮蔽红外线的遮蔽部(24);透气部件(11)~(17),容许空间部与外部的透气性;红外线检测用热敏元件(4),配置在膜(3)上,并且配设在与导光部(23)相对应的位置上;以及温度补偿用热敏元件(5),配置在膜(3)上,并且配设在与遮蔽部(24)相对应的位置上。
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