发明公开
CN105463384A 耐用的3D几何形状保形抗反射涂层
无效 - 驳回
- 专利标题: 耐用的3D几何形状保形抗反射涂层
- 专利标题(英): Durable 3D geometry conformal anti-reflection coating
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申请号: CN201510606832.2申请日: 2015-09-22
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公开(公告)号: CN105463384A公开(公告)日: 2016-04-06
- 发明人: M·S·罗杰斯
- 申请人: 苹果公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚
- 专利权人: 苹果公司
- 当前专利权人: 苹果公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 边海梅
- 优先权: PCT/US2014/057424 2014.09.25 US; 14/497,077 2014.09.25 US
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C23C16/513 ; C23C16/30
摘要:
本申请涉及耐用的3D几何形状保形抗反射涂层。更具体而言,公开了用于沉积薄膜的方法和系统。该方法和系统可以被用来在基板表面上沉积具有均匀厚度的膜,其中基板表面具有非平坦三维几何形状,诸如弯曲的表面。该方法涉及沉积源的使用,其中沉积源具有符合基板表面的非平坦三维几何形状的形状。在一些实施例中,多层膜沉积在彼此之上,从而形成多层涂层。在一些实施例中,多层涂层是用于窗口或透镜的抗反射(AR)涂层。