- 专利标题: 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法
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申请号: CN201510982725.X申请日: 2015-12-24
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公开(公告)号: CN105466668B公开(公告)日: 2018-01-12
- 发明人: 唐锋 , 王向朝 , 冯鹏 , 郭福东 , 卢云君
- 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址: 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
- 代理机构: 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 张泽纯; 张宁展
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02
摘要:
一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出,降低了系统复杂性,提高了光能利用率;该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。
公开/授权文献
- CN105466668A 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 公开/授权日:2016-04-06