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公开(公告)号：CN118746259A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410786003.6
申请日：2024-06-18
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02055 , G01B9/02015
摘要： 一种双光纤点衍射面形测量仪，由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、第一理想波前产生单元、聚焦透镜一、第二理想波前产生单元、聚焦透镜二、分束镜、被测镜、成像透镜、探测器、数据处理单元组成。本发明的特点是测量精度高、干涉条纹密度可调节、不需要标准镜、干涉对比度可调节、相移单元在成像光路之外、可测不同反射率待测镜的优点。
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公开(公告)号：CN110736543B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201910948565.5
申请日：2019-10-08
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 本发明涉及一种光栅剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。该标定装置包括点光源显微聚焦系统、待标定的光栅剪切干涉波前传感器和位移调节装置；点光源经显微聚焦系统后成像于待标定波前传感器的探测面。该剪切量标定方法，通过记录点光源经剪切光栅后的各衍射级次在传感器探测面上的成像位置，根据所用剪切光栅衍射频谱分布的几何关系，计算得到待标定波前传感器的剪切量。该标定装置及方法简化了光栅剪切干涉波前传感器剪切量的标定过程，同时提高了标定结果的精度。
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公开(公告)号：CN110332883B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201910660685.5
申请日：2019-07-22
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 一种斐索干涉仪回程误差消除方法，该方法应用的系统包括斐索干涉仪，参考镜、被测镜、参考镜调整架、被测镜调整架；本发明方法通过两次调节参考镜调整架，两次调节被测镜调整架，然后平均上述四次测量结果实现回程误差的消除；并且，采用载波条纹载频频率值作为参考镜调整架和被测镜调整架的定量调节的依据，可以选择能够实现载波测量的任意载频进行实际测量，具有精度高，定量调节，通用性强的优点。
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公开(公告)号：CN107036789B
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201710155972.1
申请日：2017-03-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 一种点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法，干涉仪的构成包括：光源、第一分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、点光源发生单元、理想波前发生单元、待测光学系统、精密调节台、小孔光窗器件、第二分光器、二维光电探测器和数据处理单元。本发明具有测量空间分辨率高、干涉条纹密度可调、能够利用相移、空间载波相移等多种干涉相位提取算法、能够标定干涉仪系统误差和干涉对比度可调等优点。
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公开(公告)号：CN108036720A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711098310.1
申请日：2017-11-09
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 一种精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、待测精密转台和反射球面光学元件；所述的反射球面光学元件安装在待测精密转台上，待测精密转台的旋转轴通过反射球面光学元件的标准球面的曲率中心；通过波面测量干涉仪测量结果是Fringe Zernike多项式第Z2(X倾斜)、Z3(Y倾斜)，和Z4(离焦)项的系数，计算反射球面光学元件曲率中心与波面测量干涉仪输出球面光波的汇聚中心间的偏离，精确得到待测精密转台轴向与径向跳动。本发明具有装置结构简单、操作方便、测量精度不依赖于标准样品精度的优点。
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公开(公告)号：CN105466668B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201510982725.X
申请日：2015-12-24
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01J9/02 , G01J1/0437 , G01J2009/0223 , G01J2009/0226 , G01J2009/0261
摘要： 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出，降低了系统复杂性，提高了光能利用率；该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。
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公开(公告)号：CN107462179A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201710547369.8
申请日：2017-07-06
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号： G01B11/14 , G01B11/002
摘要： 一种双点光源间距的纳米精度测量方法，将面阵探测器放置在两个点光源下方，建立双点光源干涉场的数学模型，通过控制点光源的开闭并结合图像处理技术，获得点光源间距的粗测值，然后保持两个点光源均打开，采集两个点光源的干涉图，求解干涉相位，按照面阵探测器坐标系，对得到的干涉相位进行泽尼克多项式前9项拟合得到泽尼克多项式系数值。通过计算像差项系数的偏导数，并结合面阵探测器采集到的干涉相位拟合泽尼克多项式的系数值，利用偏导数的定义实现对点光源间距d、点光源的连线中心与面阵探测器光敏面的垂直距离Z、面阵探测器旋转角度θ和面阵探测器倾斜角γ的修正。通过迭代计算，得到点光源间距d的精确值，实现两点光源间距的纳米精度测量。
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公开(公告)号：CN106324996B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201510325941.7
申请日：2015-06-15
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法，该装置包括光刻机的光源、照明系统、掩模台、投影物镜、工件台和计算机，还包括物面光栅板、波像差传感器。利用该装置原位检测光刻机的成像质量：波像差、畸变与场曲，提高了成像质量检测的并行通道数和检测速度。
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公开(公告)号：CN107063477A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710155971.7
申请日：2017-03-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01J9/02
CPC分类号： G01J9/0215
摘要： 一种光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法，该方法利用的光栅横向剪切干涉仪包括剪切光栅，二维光电探测器；该方法采用光学追迹法获得光栅横向剪切干涉仪在二维光电探测器探测面各个像素的剪切量；将每个像素的剪切量带入表示差分波前的差分多项式，采用最小二乘矩阵系数拟合方法求解待测波前的基函数系数，最后拟合待测波前。本发明解决了光栅横向剪切干涉仪大数值孔径波前检测时剪切量变化引入的重建误差问题，实现简单，精度高。
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公开(公告)号：CN107036789A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710155972.1
申请日：2017-03-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01M11/02
摘要： 一种点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法，干涉仪的构成包括：光源、第一分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、点光源发生单元、理想波前发生单元、待测光学系统、精密调节台、小孔光窗器件、第二分光器、二维光电探测器和数据处理单元。本发明具有测量空间分辨率高、干涉条纹密度可调、能够利用相移、空间载波相移等多种干涉相位提取算法、能够标定干涉仪系统误差和干涉对比度可调等优点。
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