发明授权
- 专利标题： 一种太阳能电池扩散烧焦片的返工处理方法
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申请号： CN201510626944.4申请日： 2015-09-28
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公开(公告)号： CN105470108B公开(公告)日： 2018-12-04
- 发明人: 许奕川 , 柯雨馨 , 戴亮亮 , 梁兴芳
- 申请人： 阳光中科(福建)能源股份有限公司
- 申请人地址： 福建省泉州市南安光电信息产业基地阳光路1号
- 专利权人： 阳光中科(福建)能源股份有限公司
- 当前专利权人： 阳光中科(福建)能源股份有限公司
- 当前专利权人地址： 福建省泉州市南安光电信息产业基地阳光路1号
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02
摘要：
本发明公开了一种太阳能电池扩散烧焦片的返工处理方法，1)用5‑10％体积比HF酸，去磷硅玻璃和脏污；2)去离子水清洗，超声振荡；3)烘干后，通臭氧、水蒸气和氩气，温度90‑100℃，形成厚度为0.3‑0.5微米的二氧化硅膜；4)用5‑10％HF酸清洗，去除二氧化硅膜，同时去除了PN结。5)去离子水清洗烘干后，重新扩散。本发明无需重新制绒即可重新扩散。
公开/授权文献
- CN105470108A 一种太阳能电池扩散烧焦片的返工处理方法 公开/授权日：2016-04-06
IPC分类:
