- 专利标题: 基板的生产作业方法、基板的拍摄条件决定方法及基板的生产作业装置
-
申请号: CN201380078989.1申请日: 2013-08-22
-
公开(公告)号: CN105473979B公开(公告)日: 2018-09-28
- 发明人: 天野雅史 , 小谷一也
- 申请人: 富士机械制造株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县知立市
- 专利权人: 富士机械制造株式会社
- 当前专利权人: 株式会社富士
- 当前专利权人地址: 日本爱知县知立市
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 穆德骏; 谢丽娜
- 国际申请: PCT/JP2013/072435 2013.08.22
- 国际公布: WO2015/025403 JA 2015.02.26
- 进入国家日期: 2016-02-19
- 主分类号: G01B11/00
- IPC分类号: G01B11/00 ; G06T1/00
摘要:
本发明提供一种基板的生产作业方法,具备以下工序:位置检测工序,检测设于基板的检测对象物的配置位置;及作业实施工序,基于检测出的配置位置对基板实施预定的生产作业,位置检测工序具有以下步骤:图像取得步骤,根据多个拍摄条件拍摄基板,取得包含配置于二维坐标上的各像素的亮度值在内的多个原图像数据;差量计算步骤,将多个原图像数据中的两个原图像数据作为计算对象,计算相同坐标值的像素的亮度值之差,取得由各像素的亮度差值构成的差量图像数据;及位置决定步骤,基于差量图像数据来决定配置位置。由此,能够在使用简易的装置结构的同时通过图像处理高精度地检测基板上的检测对象物的配置位置。
公开/授权文献
- CN105473979A 基板的生产作业方法、基板的拍摄条件决定方法及基板的生产作业装置 公开/授权日:2016-04-06