发明授权
CN105487160B 金属线栅偏振器及其制作方法、显示装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 金属线栅偏振器及其制作方法、显示装置
-
申请号: CN201610027707.0申请日: 2016-01-15
-
公开(公告)号: CN105487160B公开(公告)日: 2018-12-18
- 发明人: 叶志杰 , 彭锐 , 王欣欣 , 贾文斌 , 黄磊 , 许凯
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京风雅颂专利代理有限公司
- 代理商 李莎
- 主分类号: G02B5/30
- IPC分类号: G02B5/30 ; G03F7/00
摘要:
本发明涉及显示技术领域,公开了一种金属线栅偏振器制作方法,包括步骤:S1:在衬底基板上制作出间距为P,宽度为W的辅助线栅;S2:利用原子层沉积方式在辅助线栅上覆盖一层厚度大于P/2‑W的金属薄膜;S3:刻蚀辅助线栅顶部和沟槽对应区域的金属薄膜;S4:去掉辅助线栅,形成间距为P/2,宽度为P/2‑W的金属线栅,以形成金属线栅偏振器。还公开了一种金属线栅偏振器及显示装置。本发明的金属线栅偏振器制作方法制作的偏振器的金属线栅之间的间距可以为现有方法制作的偏振器的金属线栅的间距的一半,因此本发明的金属线栅偏振器的整体偏振性能得到了大大的提升。
公开/授权文献
- CN105487160A 金属线栅偏振器及其制作方法、显示装置 公开/授权日:2016-04-13