基于波前调制的可控激光加工装置
摘要:
本发明涉及一种基于波前调制的可控激光加工装置,包括激光加工头、照射模块、光电检测分析模块,照射模块和光电检测分析模块分别位于激光激光加工头激光出射机械边缘不同位置,照射模块的出射光束覆盖到激光加工头激光加工工作区域及周边区域,且照射模块出射光束覆盖区域内的光场入射光电检测分析模块;在激光加工光路上设置有光场波前调制元件,实现聚焦光斑整形,提高激光加工性能,并将光学物质分析技术和光电位置检测技术相结合,照射模块出射光照射激光加工头激光加工及周边区域,光电检测分析模块检测被照区域内物质成分信息和运动位置信息,避免非代加工物体进入激光加工区域,实现激光加工装置的激光安全可控。
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