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CN105564069B 热转印方法 失效 - 权利终止

热转印方法
摘要:
一种热转印方法,用以将膜件的图案转印至工件上。工件具有多个区块。热转印方法包括,将膜件与工件置入于模腔内;加热并提供负压于模腔,以使膜件延伸并依序接触所述区块。当膜件接触其中一区块时,加热模腔至第一温度,以使膜件黏着于与其接触的区块。冷却模腔至第一温度以下,以使膜件继续接触另一区块。当膜件黏着于工件的所有区块后,加热模腔至第二温度,以将膜件的图案转印至工件上。
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