发明公开

磁盘表面参数测量仪
摘要:
本发明涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪,属测量仪器技术领域。本发明利用激光外差非接触测量方法,实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动,用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动,当被测盘片相对于光学传感器在垂直于测量轴的平面内作回转运动时,光学传感器沿导轨作径向运动,并对盘片作径向扫描,此时就获得整个盘片的信息。本测量仪可以同时对金属与非金属盘片进行盘片面形——平面度的测量,又能对中等规模轮廓波度及盘片外径至内径的轮廓进行测量。
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