发明公开
CN1055813A 磁盘表面参数测量仪
失效 - 权利终止
- 专利标题: 磁盘表面参数测量仪
- 专利标题(英): MEASURER FOR MAGNETIC DISC SURFACE PARAMETER
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申请号: CN91103616.4申请日: 1991-06-05
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公开(公告)号: CN1055813A公开(公告)日: 1991-10-30
- 发明人: 曹芒 , 李达成 , 赵洋 , 王佳
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园
- 代理机构: 清华大学专利事务所
- 代理商 罗文群
- 主分类号: G01B11/00
- IPC分类号: G01B11/00 ; G11C11/14
摘要:
本发明涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪,属测量仪器技术领域。本发明利用激光外差非接触测量方法,实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动,用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动,当被测盘片相对于光学传感器在垂直于测量轴的平面内作回转运动时,光学传感器沿导轨作径向运动,并对盘片作径向扫描,此时就获得整个盘片的信息。本测量仪可以同时对金属与非金属盘片进行盘片面形——平面度的测量,又能对中等规模轮廓波度及盘片外径至内径的轮廓进行测量。
公开/授权文献
- CN1018761B 磁盘表面参数测量仪 公开/授权日:1992-10-21