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公开(公告)号：CN1024593C
公开(公告)日：1994-05-18
申请号：CN91103615.6
申请日：1991-06-05
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种外差干涉仪的信号处理新方法，即相位和相位整数测量法。本发明采用了相位测量技术和超过2π相位变化的相位整数测量技术。包括数字相位调制方法，即将两路频率信号的相位转换成为一个调宽信号，还包括超过2π相位变化的相位整数测量方法，即由相位调制输出的调宽信号，经过整数相位测量电路，产生被测相位差周期数变化的信号，从而实现相位的测量。本发明具有分辨率高，测量范围大和动态信号处理等功能。
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公开(公告)号：CN1055820A
公开(公告)日：1991-10-30
申请号：CN91103615.6
申请日：1991-06-05
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种外差干涉仪的信号处理新方法，即相位和相位整数测量法。本发明采用了相位测量技术和超过2π相位变化的相位整数测量技术。包括数字相位调制方法，即将两路频率信号的相位转换成为一个调宽信号，还包括超过2π相位变化的相位整数测量方法，即由相位调制输出的调宽信号，经过整数相位测量电路，产生被测相位差周期数变化的信号，从而实现相位的测量。本发明具有分辨率高，测量范围大和动态信号处理等功能。
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公开(公告)号：CN1055813A
公开(公告)日：1991-10-30
申请号：CN91103616.4
申请日：1991-06-05
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪，属测量仪器技术领域。本发明利用激光外差非接触测量方法，实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动，用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动，当被测盘片相对于光学传感器在垂直于测量轴的平面内作回转运动时，光学传感器沿导轨作径向运动，并对盘片作径向扫描，此时就获得整个盘片的信息。本测量仪可以同时对金属与非金属盘片进行盘片面形——平面度的测量，又能对中等规模轮廓波度及盘片外径至内径的轮廓进行测量。
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公开(公告)号：CN1059031C
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN96107099.4
申请日：1996-07-19
申请人： 清华大学
摘要： 本发明属于激光精密测量技术领域，特别涉及大型工件内外径测量。内外径激光瞄准测量系统，包括导轨、定位块、测量车及驱动机构，测量车上装有定位，瞄准用的角隅棱镜、五角棱镜和光电接收器，固定在导轨一端的激光瞄准测距仪。测量车还包括准直接收该激光瞄准测距仪发出的准直激光束的光电探测器，角隅棱镜与五角棱镜均为半透半返的改进角隅棱镜。改进五角棱镜， 五角棱镜、光电接收器、光电探测器均安装在一测量平台上。定位块上装有反射面与定位块底面垂直的平面反射镜。入射角隅棱镜的光束返回光电接收器。仪器结构简单，重量轻，测量精度高，适于加工现场使用，并能进行多直径多方向测量。
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公开(公告)号：CN1143744A
公开(公告)日：1997-02-26
申请号：CN96107099.4
申请日：1996-07-19
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01B11/08
摘要： 本发明属于激光精密测量技术领域，特别涉及大型工件内外径测量。内外径激光瞄准测量系统，包括导轨、定位块、测量车及驱动机构，测量车上装有定位，瞄准用的角隅棱镜、五角棱镜和光电接收器，固定在导轨一端的激光瞄准测距仪。测量车还包括准直接收该激光瞄准测距仪发出的准直激光束的光电探测器，角隅棱镜与五角棱镜均为半透半返的改进角隅棱镜。改进五角棱镜，五角棱镜、光电接收器、光电探测器均安装在一测量平台上。定位块上装有反射面与定位块底面垂直的平面反射镜。入射角隅棱镜的光束返回光电接收器。仪器结构简单，重量轻，测量精度高，适于加工现场使用，并能进行多直径多方向测量。
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公开(公告)号：CN1018761B
公开(公告)日：1992-10-21
申请号：CN91103616.4
申请日：1991-06-05
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 本发明涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪，属测量仪器技术领域。本发明利用激光外差非接触测量方法，实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动，用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动，当被测盘片相对于光学传感器在垂直于测量轴的平面内作回转运动时，光学传感器沿导轨作径向运动，并对盘片作径向扫描，此时就获得整个盘片的信息。本测量仪可以同时对金属与非金属盘片进行盘片面形——平面度的测量，又能对中等规模轮廓波度及盘片外径至内径的轮廓进行测量。
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