发明授权
- 专利标题: 一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪
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申请号: CN201610128649.0申请日: 2016-03-08
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公开(公告)号: CN105606083B公开(公告)日: 2018-04-10
- 发明人: 周斌 , 张嵘 , 张天 , 陈志勇
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 徐宁; 关畅
- 主分类号: G01C19/574
- IPC分类号: G01C19/574
摘要:
本发明涉及一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪,该陀螺仪包括基板层和位于基板层上方的结构层,结构层包括拥有四对称轴的八边形平面框架结构的支撑架,四根沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架外侧的锚定支撑柱,四个沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架内侧的质量块,四个分别设置在四个质量块与支撑架之间的驱动检测单元和四个分别设置在四个质量块远离支撑架一侧的驱动单元;相对的两个质量块完全相同,每个质量块接近支撑架的一侧设置有驱动检测电容可动极板、远离支撑架的一侧设置有驱动电容可动极板,质量块能在支撑架平面内产生“主模态”振动,或者产生“次模态”振动,或者同时产生“主模态”和“次模态”振动。
公开/授权文献
- CN105606083A 一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪 公开/授权日:2016-05-25