一种香豆素基磺酸酯类光致产酸剂及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种香豆素基磺酸酯类的光致产酸剂(光产酸)及其制备方法,所述光产酸由含有羟基的香豆素类化合物与磺酰氯进行酯化反应,得到本发明的光产酸。本发明光产酸在一定的紫外光下可以产生酸性物质。使用本发明光产酸制成的光刻胶能够在紫外光下显影,具有活性好,精度高的特点。
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