Invention Publication
- Patent Title: 一种香豆素基磺酸酯类光致产酸剂及其制备方法
- Patent Title (English): Coumarin-based sulphonate photo-acid generator and preparation method therefor
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Application No.: CN201511018166.7Application Date: 2015-12-30
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Publication No.: CN105607417APublication Date: 2016-05-25
- Inventor: 李治全 , 朱桂刚 , 刘敬成 , 刘仁 , 穆启道 , 刘晓亚
- Applicant: 苏州瑞红电子化学品有限公司 , 江南大学
- Applicant Address: 江苏省苏州市吴中经济开发区民丰路501号
- Assignee: 苏州瑞红电子化学品有限公司,江南大学
- Current Assignee: 苏州瑞红电子化学品有限公司,江南大学
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市吴中经济开发区民丰路501号
- Main IPC: G03F7/004
- IPC: G03F7/004 ; C07D311/16

Abstract:
本发明公开了一种香豆素基磺酸酯类的光致产酸剂(光产酸)及其制备方法,所述光产酸由含有羟基的香豆素类化合物与磺酰氯进行酯化反应,得到本发明的光产酸。本发明光产酸在一定的紫外光下可以产生酸性物质。使用本发明光产酸制成的光刻胶能够在紫外光下显影,具有活性好,精度高的特点。
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